多晶硅生产过程烟气量大,成分复杂,粉尘颗粒小(0.1~10μm),传统过滤方式采用金属粉末烧结材料、多层烧结金属丝网过滤材料,其普遍存在过滤效率低,拦截效率低等问题。ZSWF-粉毡金属膜,采用50μm精密过滤层复合400μm支撑层,过滤精度可达0.1μm,渗透效率高于传统材料5倍以上,可有效代替传统粉末烧结多孔材料及烧结金属丝网多孔过滤材料。